光刻機(jī)是干嘛的 光刻機(jī)什么概念
2024-01-31
更新時間:2024-01-31 09:41:13作者:佚名
1、光刻機(jī)又名掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機(jī)的種類可分為:接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光。
2、光刻機(jī)的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上。然后使用化學(xué)方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。