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1、難在它的制造精度，為了便于形象地解釋?zhuān)饪虣C(jī)制造芯片的過(guò)程就相當(dāng)于“沖洗照片”。設(shè)計(jì)好的集成電路的電路圖相當(dāng)于照片的“拍攝的內(nèi)容”，晶圓就相當(dāng)于“相紙”，光刻機(jī)的其它機(jī)構(gòu)就相當(dāng)于與照相機(jī)的“鏡頭機(jī)構(gòu)”。

2、不同的是洗照片是將照片放大呈現(xiàn)到相紙上，制造芯片是將設(shè)計(jì)的集成電路微縮到晶圓上拇指大小的區(qū)域內(nèi)，而且電路的投影精度達(dá)到了納米量級(jí)。

3、光刻機(jī)的加工過(guò)程，光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展已經(jīng)發(fā)展到了紫外光階段，我們就以紫外光為例說(shuō)明。光刻機(jī)加工芯片的過(guò)程簡(jiǎn)單地講就是，光源提供的紫外光照射到刻著電路設(shè)計(jì)圖的掩模板上，紫外光透過(guò)掩模板后進(jìn)入物鏡，物鏡將掩模板上的電路圖大比例的縮小后，將電路投影到硅片上，這樣硅片上就刻下設(shè)計(jì)好的電路圖，這個(gè)過(guò)程中曝光臺(tái)和測(cè)量臺(tái)處于聯(lián)動(dòng)的狀態(tài)。